一种高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量标定方法
提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法，该方法除可改善光触针传感器的空间分辨力、线性和系统抗干扰能力外，还实现了共焦测量法的双极性绝对测量及量程范围的扩宽。理论分析和实验表明，当入射激光束波长λ=632.8 nm，测量物镜数值孔径取NA=0.85，ε=0.5，uM=6.95时，该差动共焦传感器的横向分辨力优于0.2 μm，轴向分辨力优于2 nm。该差动共焦测量技术为光触针传感器空间分辨力的提高提供了一种新的方法，其除用于超精密三维微细结构工件的测量外，还可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量。
空间分辨力 共焦显微镜 二元光学器件 表面轮廓 差动共焦测量 光触针传感器
赵维谦 邱丽荣 沙定国
北京理工大学光电工程系,北京 100081
国内会议
北京
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234-237
2007-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）