应用激光多普勒位移测量仪检测数控机床精度
随着机械加工制造业，特别是精密加工的飞速发展，在航天航空领域中数控机床得到了大量的应用，且需求不断扩大。因此，数控机床的检测只停留在单轴的检测上是远远不够的，已不能满足机械加工制造业对检测日益提高的要求了。这个要求不仅包含仪器、设备，还包含检测的手段和方法。正因如此引出了本篇论文。本论文首先介绍了激光多普勒位移测量仪的基本原理，与激光单频、双频干涉仪在机理上做了详细的比较。总结出其一些突出的特点；然后给出了该系统的主要技术指标，包括测量范围、最小分辨力、电源电压、稳定性和测量不确定度等等。概述了数控机床几何精度的检测，特别介绍了根据ISO230-6机床检验通则第6部分：对角线位移检验，在国际上先进的数控机床体对角线检测的方法、步骤及原理，同时提出了进行空间检测时的几点注意事项。最后对激光多普勒位移测量仪的应用、发展的前景做了展望，得出了较为准确、客观的结论。
激光多普勒系统 激光多普勒位移测量仪 数控机床 体对角线 精度测量
孙钢 江峰 谭逢喜 刘建军 张庆柏
北京振兴计量测试研究所,北京 100074
国内会议
北京
中文
324-327
2007-09-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）