微腔体四极质谱计在空间气体测量方面的应用前景分析

摘要：

本文介绍了两种四极质谱计的结构、原理和性能。这两种四极质谱计包括已经用于航天领域的阵列式四极质谱计和东南大学研制的微腔体四极质谱计。对于在航天领域应用的四极质谱计除了对性能的要求之外，其体积和重量也是不容忽视的重要指标。本文对于这两种四极质谱计在大小、重量、性能方面进行了比较，结果显示微腔体四极质谱计在性能、体积、重量等方面都有很大的优势，拥有在航天领域应用的潜质。

关键词： 微腔体四极质谱计 结构 原理 性能 空间气体测量

作者: 肖梅 张晓兵 王金婵 毛福民

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院显示中心 南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国宇航学会深空探测技术专业委员会第四届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 154-158

在线出版日期: 2007-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）