基于PID原理的MEMS气体传感器研究

摘要：

本文分析了PID(Photo Ionization Detector)原理及利用此原理对高能航空燃料肼等有机气体进行检测的可行性，设计了电离室的结构，使用体硅微技术加工电离室,使电离室的体积和质量大大减小，并设计了相应的检测电路。本文介绍的PID气体传感器具有体积小，高精度，实时性等优点，与离子迁移谱技术进行集成后,可以同时分辨气体种类和高精度测试气体浓度，有广泛的应用前景。

关键词： 气体传感器 电离室 PID原理 气体检测

作者: 薛晨阳 菅傲群 刘鑫 张文栋

作者单位: 电子测试技术国家重点实验室,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国宇航学会深空探测技术专业委员会第四届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 201-205

在线出版日期: 2007-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）