计算全息配合数字移相干涉仪进行非球面检测的研究

摘要：

将计算全息(Computer-Generated Hologram，CGH)作为波面发生器引入数字移相干涉仪中，以实现非球面型的快速、高精度检验。详细介绍了CGH的设计方法、加工过程以及配合干涉仪对非球面进行检测的实验步骤。对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论，并提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度不均匀性和线宽不均匀性对再现波面的影响，得出了相应的误差公式。利用设计的测量系统对一个二次抛物反射面进行了实际测量，测量精度达到λ/12。

关键词： 光学检测 二元光学元件 菲涅耳波带板 非球面反射镜 数字移相 干涉仪 计算全息

作者: 康果果 谢敬辉 刘祎

作者单位: 北京理工大学信息科学技术学院光电工程系,北京市,100081 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室,北京市,100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届博士生学术年会

会议地点: 长春

会议语种:中文

页码: 655-661

在线出版日期: 2007-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）