ISO1.5级(0.1μm1级)洁净室设计与施工
介绍一个工程,其中包括IS01.5级(O.1μm1级)工作间三间,有两个工作间要求温度波动每小时不超过0.1℃。运行一年多情况良好。
洁净室 洁净度 设计施工
张吉银
信息产业电子第十一设计研究院有限公司
国内会议
福建厦门
中文
387-388
2005-11-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
洁净室 洁净度 设计施工
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