会议专题

ISO1.5级(0.1μm1级)洁净室设计与施工

介绍一个工程,其中包括IS01.5级(O.1μm1级)工作间三间,有两个工作间要求温度波动每小时不超过0.1℃。运行一年多情况良好。

洁净室 洁净度 设计施工

张吉银

信息产业电子第十一设计研究院有限公司

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第13届全国暖通空调技术信息网大会

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2005-11-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)