一种带有磁芯的微电磁继电器设计与制作

摘要：

在前期对微机械电磁继电器研究基础之上,重新优化结构,并改进了加工工艺,试制了一种新型微电磁继电器。这种微继电器在设计中采用三维结构,以增大磁路效率,减小漏磁通,从而增加电磁驱动力。基于MEMS复合工艺在硅基底上制作了微继电器样品,其尺寸为5mm×5mm×0.4mm,它由上下磁路、平面线圈、固定触点和活动衔铁等部分组成。试制的平面线圈电阻约20Ω,外加5V电压时,可实现吸合动作,其活动衔铁最大位移量可达20um。

关键词： 微电磁继电器 微驱动器 优化结构 加工工艺 磁路效率 平面线圈

作者: 李德胜 刘本东 周煜 李翔

作者单位: 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院,北京,100022

会议类型: 国内会议

会议名称: 北京市纪念中国博士后制度实施二十周年——首都现代制造技术发展论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 62-67

在线出版日期: 2005-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）