离子束溅射纳米薄膜的制备与性能研究

摘要：

采用低能离子束溅射技术制备了纳米非晶NiCr合金薄膜,该薄膜在快速热处理下发生了由非晶到晶态的转变.用扫描俄歇微探针仪、小角度X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、a-台阶仪、四探针仪等分别测量了薄膜的厚度、结构、形貌及电学特性.结果表明,离子束溅射与快速热处理相结合的技术方案是制备纳米Nicr合金薄膜的一种有效技术.可制得性能优良的纳米NiCr合金薄膜.

关键词： 离子束溅射镀膜 快速热处理 纳米NiCr合金薄膜 薄膜结构 扫描电镜

作者: 周继承 晏建武 田莉

作者单位: 中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国工程院化工、冶金与材料工程学部第五届学术会议

会议地点: 海南博鳌

会议语种:中文

页码: 590-593

在线出版日期: 2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）