集成电路(IC)产业对纯氮设备的技术要求

摘要：

介绍了纯氮设备在集成电路上的应用,并要求超高纯度氮气的各杂质含量控制在10-9(PPbc)级水平。还介绍了我国高纯氮设备技术水平及与国外存在差距。简介了深度精制法,可使氮气中难清除的杂质含量低于10×10-9。为满足IC产业,提出了制造纯氮设备和选用材料的特殊要求,仍需努力提高设备的稳定性和可靠性。

关键词： 集成电路 纯氮设备 高纯氮气 杂质含量

作者: 严寿鹏 陈熙静

作者单位: 上海启元空分技术发展有限公司,上海市大连路1546号B幢 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 2005年小型空分设备技术交流会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 26-30

在线出版日期: 2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）