敢问中国电子气体路在何方

摘要：

对中国电子气体的历史进行了回顾，通过对某些具有代表性的电子气体描述，可以清晰地看到我国电子气体同发达国家的差距，对中国电子气体未来的发展走向进行了剖析。

关键词： 电子气体 VLSI ULSI 气体信息站 电子气体描述

作者: 孙福楠 吴江红 王秋娥

作者单位: 光明化工研究设计院,辽宁 大连 116031

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体信息站特种气体信息网第十次全网大会暨建网二十周年庆祝大会

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）