我国电子工业用气体的现状
电子工业用气体是微电子工业的重要原材料,在其生产应用中全面和国际先进水平接轨是振兴我国微电子工程中不可忽视的一个重要环节。我国电子工业用气体的现状和国际先进水平相比，还存在较大的差距。本文简述这些差距，指出在以后的发展趋势中，首先应当是技术标准与国际接轨。电子工业用气体的包装、充装，贮运、输送以及售后服务，皆是发展趋势中的难点和重点。相对而言，电子工业用气体的检测手段在与国际接轨的过程中发展要快一些。随着国产电子工业用气体在微电子工业高端用户的突破，将带动我国电子工业用气体生产的快速发展。
电子工业用气体 电子气体 微电子工业 技术标准 包装贮运 气体检测
王少楠
西南化工研究设计院 气体标准化研究所,四川 成都 610225
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2005-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）