大规模集成电路级硅单晶硅使用石英坩埚发展介绍
为实现大规模集成电路的发展，硅片直径正在不断扩大，导致了硅单晶生长使用的石英坩埚直径也在扩大化。由于集成电路特征线宽缩小，对硅片生长过程提出了更高的要求。为解决大直径硅片生长过程使用石英坩埚存在问题如纯度，对单晶生长影响问题，国外石英生产厂家通过对石英坩埚生长过程环境，原料，检验设备，包装和服务等环节控制加上在石英坩埚生产过程中开发的技术专利如内涂层技术，有效解决了大直径单晶使用大直径石英坩埚过程中存在的问题。
大直径硅片生产 石英砂纯化 石英坩埚生长 天然石英 合成石英 大规模集成电路
黄振飞 王文
麦斯克电子材料有限公司,河南,洛阳 471009
国内会议
重庆
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35-44
2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）