单晶硅生产用石英坩埚原料

摘要：

本文论述了单晶硅对石英坩埚的要求，又论述了石英坩埚对原料的要求，探讨了中国石英原料的生产发展现状，最后探讨了石英坩埚原料的种类和生产方法以及发展趋势。

关键词： 单晶硅 石英坩埚 原料种类 生产方法 发展趋势

作者: 金小宁 洪璐

作者单位: 东海县金孚石英制品厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届高新技术用石英制品及相关材料技术与市场研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 61-64

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）