非金属矿与半导体工业

摘要：

随着信息技术、网络技术和计算机等行业飞速的发展，对集对电路的集成度要求越来越高，即出现超大、甚大规模集成电路。本文介绍了一种在国内外首次由天然锆英砂制备微米级研磨料及纳米颗粒的均一稳定化技术，其技术关键为均一的ZrSiO4-α-Al2O3相形成及合适的破碎分级技术和纳米颗粒的制备及均一稳定化技术和工艺。其相关产品现已在北京有研硅股进行了系列试用，效果较为理想。

关键词： 非金属矿工业 半导体工业 天然锆英砂 微米级研磨料 纳米颗粒

作者: 杨华明 周灿伟 杜春芳 张向超

作者单位: 中南大学资源生物学院,长沙 410083

会议类型: 国内会议

会议名称: ’2005中国非金属矿工业大会及第二届非金属矿在造纸行业应用与加工技术交流研讨会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 45-48

在线出版日期: 2005-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）