氧化锌铝溅射靶材及其薄膜的制备

摘要：

用化学共沉淀法制备了氧化锌铝粉末,用冷等静压+常压烧结法制备了相对密度为96.7％的氧化锌铝溅射靶材,并用射频磁控溅射法在玻璃基体表面制备了相应的氧化锌铝薄膜。分析表明,所制备的薄膜具有(002)面的单一择优取向,可见光平均透过率高于80％。

关键词： 透明导电薄膜 氧化锌铝 化学共沉淀 溅射靶材法 冷等静压 常压烧结法

作者: 刘斌 马瑞新 邵伟 高贵华

作者单位: 北京科技大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届冶金工程科学论坛

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 417-420

在线出版日期: 2005-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）