氮气掺入量对a-CNzH薄膜的结构、力学、及摩擦学性能的影响

摘要：

采用磁控溅射在CH4与N2气氛下制备了一系列含氢碳膜，通过高分辨透射电镜、Raman光谱、纳米压入仪和UMT摩擦实验机对薄膜结构和摩擦学性能进行了分析，结果表明：随着反应氮气比率的升高，薄膜结构的有序性降低，硬度和弹性恢复能力降低，摩擦系教随之升高。

关键词： 氮气掺入量 a-CNzH薄膜 磁控溅射 含氢碳膜 摩擦学性能

作者: 张斌 张俊彦

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室甘肃 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2009全国青年摩擦学学术会议

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 345-348

在线出版日期: 2009-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）