微机械梳齿电容式加速度计的性能分析

摘要：

本研究以定齿偏置梳齿闭环电容加速度计为例，阐述了其工作原理，建立了其力学模型，给出了相应的力平衡方程。通过分析，得到了反映和影响加速度计性能的静电力、量程、稳定性、灵敏度等关键物理量的具体表达形式。研究结果表明，加速度计的性能和折叠梁的尺寸，检测质量块质量、极板面积、偏置电压、反馈电压等因素有关。

关键词： 加速度计 仪表设计 力学模型

作者: 胡雪梅 韩全立

作者单位: 河南工业职业技术学院电气工程系,河南 南阳 473009

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）