薄膜式精密电位计线性度自动检测修刻系统的研制

摘要：

本文针对航空航天领域应用的薄膜式精密电位计电阻，研制了其线性度测量及修刻自动化系统。该系统在X-Y工作台上利用自行研制的专用测头进行电阻线性度测量，在计算机的控制下利用专用修刻头对检测过的精密电位计进行修正，以达到其线性度误差要求。整个测量和修刻过程采用工业控制微机配以自行开发的专用软件进行全自动测量和修刻，实现全自动化，具有高精度和高效率的特点。

关键词： 精密电阻 薄膜电阻 阻值检测 计算机技术

作者: 王广林 刘振华 潘旭东

作者单位: 哈尔滨工业大学 机电工程学院,黑龙江 哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）