CCD显微测量系统中调焦状态对尺寸测量精度的影响

摘要：

用CCD显微测量系统对零件进行实际测量时，通常默认某种状态为清晰状态。本文采用了哈尔滨工业大学工艺自动化与检测研究室研制的CCD显微测量系统对精密微小零件进行尺寸检测，在不同的聚焦状态下，发现聚 焦的清晰与否对尺寸的测量有很大的影响，同时根据被测零件的特点，在众多调焦评价函数中选用熵函数法作为CCD显微测量系统中自动调焦的调焦评价函数，利用本研究室自行开发的专用软件对采集的图像进行熵值处理，观察得到调焦评价函数与测量误差的关系，再一次证实了聚焦的清晰度对尺寸测量的影响。

关键词： 显微测量 光电耦合 自动调焦 图像处理

作者: 郭华 白磊 刘军 时雨

作者单位: 哈尔滨理工大学 机械动力工程学院,哈尔滨 150080 哈尔滨工业大学 机电工程学院,哈尔滨 150080 哈尔滨市国家投资项目评审中心和国际工程咨询中心,哈尔滨 150080

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）