高精度大通光口径反射镜架微驱动组件的研究

摘要：

本文研制了用于神光-Ⅲ原型装置反射镜架的微驱动组件。采用交流电机和滚珠丝杠的传动方式，设计了直圆式和圆柱错位式两种柔性铰链。通过MSComm 建立上下位机的通信，实现对PLC的集散式控制。在TM5反射镜架上测试，精度达到±0.3μm/step。满足系统设计要求。

关键词： 反射望远镜 微驱动组件 有限元分析 集散式控制

作者: 廉明 富宏亚

作者单位: 哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江省哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2008-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）