热电效应导致加速度计输出零偏的理论分析

摘要：

针对静电伺服微加速度计输出电压零位偏移现象，通过分析包括赛贝克效应、珀耳帖效应和汤姆逊效应在内的三种热电效应，详细推导了由热电效应引起的感生电压公式，计算得到感生电压为1.29mV，约占输出电压偏移量的50％。研究表明，热电效应是导致输出零偏的原因之一。

关键词： 微加速度计 零位偏移 热电效应 静电伺服 感生电压

作者: 蔡冬 葛桐山

作者单位: 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 36-39

在线出版日期: 2008-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）