RF MEMS开关的国内研究现状及进展

摘要：

介绍了RF MEMS电阻接触式开关以及电容耦合式开关。基于RF MEMS开关具有插入损耗低、隔离度高、线性度高、功耗低和体积小等优点，阐述了RF MEMS开关设计的基本原理，列举了国内和国外现有的几种典型开关结构，并进行了对比。通过分析几种典型结构的优缺点，提出一些意见，并展望了RF MEMS开关的发展。

关键词： 静电执行 开关设计 开关结构

作者: 曾昊骋 夏建新

作者单位: 电子薄膜与集成器件国家国家重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 96-100

在线出版日期: 2008-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）