Ce1-zSmzO2-y缓冲层的化学溶液法制备
采用化学溶液法在Niw(200)基带上进行了Ce1-xSmxO2-y(x=0,0.2,1)缓冲层的制备及生长机理研究。结果表明,化学溶液法可以成功制备出双轴织构的Ce1-xSmxO2-y缓冲层:在x=0和x=0.2的情况下,所制备的缓冲层有裂纹产生;但是随着x的增加,开裂现象被逐步抑制。对x=1的sm2O3缓冲层而言,当厚度增加到120 nm时依然没有产生裂纹,表明Sm2O3缓冲层可以作为单一缓冲层而得以使用。
涂层导体 缓冲层 化学溶液法 双轴织构
雷和畅 朱雪斌 宋文海 孙玉平
中国科学院固体物理研究所,安徽合肥 230031
国内会议
西安
中文
111-114
2007-12-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)