高质量2英寸双面YBCO/MgO薄膜的批量化制备
开展了2英寸(5.08 cm)MgO单晶基片上YBa2Cu3O7-δ(YBCO)薄膜的制备及工艺稳定性研究。通过对基片表面状态的研究，提出了高温退火处理基片的方法，改善了基片的表平整度，大幅度提高了薄膜的取向性以及结晶质量，制备得到的YBCO薄膜具有优越的超导电性，薄膜临界电流密度Jc(77 K，O T)≈2.5 MA，cm2，微波表面电阻风(10GHz，77 K)≈0.16 mΩ,能够满足超导滤波器的设计要求。另外，还就工艺的稳定性和可重复性进行了研究，表明电子科技大学已具有小批量化提供大面积双面YBCO样品的能力。
超导薄膜 单晶基片 退火 超导电性 电流密度
熊杰 陶伯万 韩晓 贺镜谭 冯啸 宋晓科 张飞 李言荣
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都 610054
国内会议
西安
中文
485-488
2007-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）