基于光电位移检测的振动测量控制技术

摘要：

位置敏感探测器(Position Sensitive Detector，PSD)是一种基于半导体表面阻抗特性原理的连续性光电半导体位移检测器件，具有位置分辨率高和响应速度快等优点。采用PSD进行非接触振动测量，既不会影响被测对象的振动特性，又能有效避免传统加速度传感器超低频振动测量时的漂移问题，克服了需要速度、位移作为反馈或前馈控制量时所带来的积分相位漂移和频响带宽下降等缺点。本文设计了基于PSD的振动检测及控制系统，详细分析了影响测试性能的主要因素并提出了解决方法。基于设计的测量系统，进行了振动检测及控制实验，实验结果验证了该测量方法的有效性。

关键词： 位置敏感探测器 光电位移检测 振动测量控制 非接触检测 漂移问题

作者: 张大兴 贾威 官伯林

作者单位: 西安电子科技大学机电工程学院 西安 710071 西安新邮通信设备有限公司 西安 710075

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届安捷伦科技节暨安捷伦科技生命科学与化学分析技术高层论坛、安捷伦测量科技论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 163-166

在线出版日期: 2009-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）