RF MEMS移相器馈电网络的研究

摘要：

提出一种RF MEMS移相器馈电结构的设计，在MEMS开关中加入MAM电容。MEMS移相器金属桥开关的馈电可以通过MAM电容，空气桥和偏置线来实现的。通过这种方法，不但实现了数字式控制，而且引入相对稳定的电容值，改善了开态和关态的电容比，提高了MEMS移相器的性能。

关键词： MEWS开关 移相器 馈电网络 MAM 金属桥开关 数字式控制

作者: 傅佳辉 吴群

作者单位: 哈尔滨工业大学电子与信息技术学院,哈尔滨 150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届安捷伦科技节暨安捷伦科技生命科学与化学分析技术高层论坛、安捷伦测量科技论坛

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 327-331

在线出版日期: 2009-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）