电子工艺有害气体CF4高温分解特性实验研究
利用CF4在高温下与H2O发生反应这一机理，在一台高温空气燃烧实验炉上，对电子工艺有害气体OF4在高温环境下的分解特性进行了实验研究。研究了H2O浓度、CF4浓度、反应温度，停留时间等重要参数对CF4分解规律的影响。实验结果显示，CF4分解率随着H20浓度的增加呈上升趋势，但当H2O达到一定浓度时，CF4分解率不再升高；其他影响因素不变时，单纯提高CF4浓度，分解率为下降趋势；提高温度对分解率影响最为明显，随着温度的增加分解率显著提高：900℃时，分解率最高为27.3％；1000℃时，提高到48.94％；而当温度达到1100℃时，分解率可以达到60.72％；停留时间加长，反应更充分，更有利于提高CF4的分解率。
电子工艺有害气体 CF4气体 高温空气燃烧分解
李星 贾力 张田田 罗宁 马世平
北京交通大学机械与电子控制工程学院动力系,北京 100044
国内会议
杭州
中文
744-750
2008-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）