微波ECR等离子体内参数的静电探针测量

摘要：

针对传统的等离子体测试系统与测试手法，并结合了微波等离子体的特性，本文引入了自动测试技术，计算机及集成单片机技术设计了一个新的等离子体静电探针测试系统。将该系统应用于微波ECR等离子体参数的测定，经实验测试效果较好。

关键词： 静电探针 微波等离子体 测试系统 自动测试 单片机 测试效果

作者: 王倩 刘华

作者单位: 电子科技大学自动化工程学院 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国青年通信学术会议

会议地点: 山东烟台

会议语种:中文

页码: 294-297

在线出版日期: 2008-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）