彩色梯度和数学形态学的缺陷图像分割方法

摘要：

在对集成电路(IC)真实缺陷进行分类与识别时，lC缺陷图像分割是非常重要的一步。本文提出一种缺陷彩色图像分割的新方法，该方法首先采用彩色梯度检测和彩色数学形态学方法对IC缺陷图像进行分割，然后将各分割结果合并。实验结果表明本文方法能较好的表征缺陷的边缘特征。从而为缺陷源的识别奠定基础。

关键词： 缺陷检测 图像分割 数学形态学 集成电路 电路缺陷 边缘特征

作者: 张宇 王俊平 郭清衍 王瑞岩 周海

作者单位: 西安电子科技大学通信工程学院,陕西西安 710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国青年通信学术会议

会议地点: 山东烟台

会议语种:中文

页码: 1103-1106

在线出版日期: 2008-10-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）