微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状

摘要：

随着MEMS技术的不断发展,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注.简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER.最后简要介绍了国内开发的DROPIE模拟工具.

关键词： 干法刻蚀 模拟工具 微加工工艺 工艺模拟

作者: 周荣春 张海霞 郝一龙

作者单位: 北京大学微电子学研究院,MEMS研究所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 5-7

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）