弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模

摘要：

根据梁的小变形理论,对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究.推导出其受力和变形计算公式,研究表明,此种谐振器是五次超静定问题;在支承长度和工况相同的情况下,它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐振幅度大;谐振频率和刚度系数随着纵向支撑长度L、横向短梁长度l3的增加而减小,随着梁宽b的增加而增加.

关键词： 微静电谐振器 悬臂梁 力学建模 受力分析 谐振幅度 刚度系数

作者: 赵江铭 沈雪瑾 张海霞 陈晓阳

作者单位: 上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072 北京大学微电子所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 22-26

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）