基于部件库的 MEMS 设计方法

摘要：

针对当前MEMS设计工具中机械性能评测不充分的问题,提出了基于部件库的MEMS设计方法;介绍了部件及部件库的概念和基于部件库的MEMS设计环境的总体结构及关键技术.完成了各关键技术的攻关,并建立了一个原形系统.

关键词： 部件库 虚拟现实 机械性能 微机电系统

作者: 卢桂章 赵新

作者单位: 南开大学机器人与信息自动化研究所,天津,300071

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 36-39,43

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）