弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究

摘要：

研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器.该悬臂梁一端固支,另一端自由翘离基底.在静电力作用下,悬臂梁粘连的位置和长度会改变,使得执行器的电压-位移特性严重依赖加载历史.研究了在不同电压加载方式下,悬臂梁粘连点、端部位移的变化,以及这种变化对驱动电压的影响.实验研究了悬臂梁在方波电压下的振动,并设计实验系统测量了吸下和弹起时间.

关键词： 弯曲悬臂梁 吸下电压 静电执行器 驱动特性 电压加载

作者: 刘素艳 牛凯 叶雄英 周兆英

作者单位: 清华大学精密仪器系微机械教研室,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 375-377

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）