双膜桥微波MEMS开关

摘要：

介绍了一种双膜桥微波MEMS开关,给出了开关的设计与优化方法,建立了开关的仿真模型,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品,其主要结构为硅衬底上制作CPW金属传输线电极和介质层,然后制作具有微电感结构的金属膜桥,提高了开关隔离度.利用HFSS软件仿真的结果表明,该开关在微波低频段(3～6GHz)有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为:插损小于0.3dB,隔离度大于40dB,驱动电压小于24V.

关键词： 微机电系统 射频开关 高隔离度 仿真模型 隔离性能

作者: 朱健 郁元卫 陆乐 贾世星 张龙

作者单位: 东南大学仪器科学与工程系,江苏,南京,210096;南京电子器件研究所,江苏,南京,210016 南京电子器件研究所,江苏,南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 382-384

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）