MEMS电磁执行器CoNiMnP永磁体阵列的制备

摘要：

永磁材料在微电子机械系统(MEMS)器件中具有重要的应用价值,例如微型开关、微型继电器以及微泵、微阀中作电磁执行器等.本文介绍了CoNiMnP永磁体阵列的制备技术,给出了工艺制备的实验条件,并利用SEM分析了阵列的表面形貌,电子能谱分析了永磁材料组分.实验结果表明,得到了很好的CoNiMnP永磁体阵列结构,具有较高的矫顽磁力的材料组分比例:Co 85％、Ni 14％。

关键词： 微机电系统 永磁体阵列 电磁执行器 永磁材料 矫顽磁力

作者: 张博军 赵湛 陈绍凤

作者单位: 中科院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 385-387

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）