基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

摘要：

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器.该传感器采用半导体微加工工艺制备,具有体积小、重量轻、功耗低等优点.阐述了传感器的工作原理,描述了设计方案,介绍了计算机模拟仿真结果.

关键词： 微电子机械系统 电场传感器 微加工工艺 计算机模拟

作者: 裴强 夏善红 龚超 白强 陈绍凤

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 388-390

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）