基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关

摘要：

射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成.本文介绍了基于砷化镓衬底的RF MEMS膜开关,着重介绍了开关的工作原理、制作过程和测试结果.

关键词： 砷化镓 微机电系统 膜开关 高频特性 微机械开关

作者: 郑惟彬 黄庆安 李拂晓 廖小平

作者单位: MEMS教育部重点实验室,东南大学,江苏,南京,210096 南京电子器件研究所,江苏,南京,210016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 395-396,403

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）