一种新型静电驱动的单轴扭转微镜

摘要：

基于MEMS技术的微镜在投影显示、光学扫描和光通信等领域中都具有重要的应用价值.本文提出了一种新型的静电驱动的单轴扭转微镜,这种MEMS微镜采用标准体硅工艺和绝缘连接工艺制成.由于驱动力作用线和扭转中心之间存在一定的距离,使得微镜在梳齿驱动器的横向静电力驱动下,发生一定角度的扭转.测试中发现了微镜初步设计中的薄弱环节,经过改进后可望进一步改善微镜的性能。

关键词： 梳齿驱动器 体硅工艺 静电驱动 扭转微镜 微机电系统

作者: 王丛舜 熊春阳 杨振川 张大成 方竞

作者单位: 北京大学力学与工程科学系,北京,100871 北京大学微电子所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 419-421

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）