AlGaN PIN结构紫外探测器研制和建模分析

摘要：

紫外探测器在军事高科技和民品市场的紫外通信和成像方面具有很高的价值.探讨了AlGaN pin 紫外探测器的制作工艺和材料及结构对器件性能的影响.提出改进pin紫外探测器性能的措施.

关键词： 紫外探测器 紫外通信 紫外成像 器件性能

作者: 周劲 郝一龙 武国英

作者单位: 北京大学微电子学系MEMS,研究所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 422-425

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）