数字输出型多功能传感器研究

摘要：

基于混合集成技术,设计并制作了具有RS232标准接口输出的压力-温度多功能传感器.该传感器由压力-温度复合敏感单元、R/V转换及前置放大、A/D转换、可编程RS232接口单元等构成.此外开发了传感器的数据采集与处理软件,通过软件对原传感器的误差进行软补偿,传感器的测量综合精度有所提高,在室温至80℃的测量范围内零位温漂由4.4％/℃降至0.2％/℃.

关键词： 多功能传感器 压力传感器 混合集成 敏感单元 软补偿 误差补偿 测量精度 零位温漂

作者: 陈伟平 田丽 田雷 李明江 孙立宁

作者单位: 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 426-428

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）