M-Z型硅基ARROW压力传感器设计

摘要：

分析了M-Z型硅基ARROW压力传感器的结构设计参数, 并用计算机软件ANSYS对参数进行有限元方法(FEM) 研究,模拟了硅弹性膜片应力分布,确定了弹性膜边缘是传感臂具有高灵敏度的理想位置,并据此计算出由光弹性效应引起传感臂相位变化及其与压力的之间线性关系.

关键词： 抗共振反射 光波导 压力传感器 有限元方法 传感臂 光弹性效应

作者: 肖素艳 王东红 刘晓为 秦建勇

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心,黑龙江,哈尔滨,150001

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 429-431,437

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）