真空微电子压力传感器阵列数据采集研究

摘要：

阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形.设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A/D数据采集系统.系统采用微机为主控单元,地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件(CPLD)实现,提高了设计的灵活性,简化了电路板设计.利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集,最后给出了实验结果.

关键词： 真空微电子 微机电系统 压力传感器 数据采集 传感器阵列 可编程逻辑器件 电路板设计

作者: 潘银松 温志渝 梁玉前 蒋子平

作者单位: 重庆大学光电技术系统实验室,重庆,400044

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 435-437

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）