多层梁机电耦合系统的等效电路宏模型

摘要：

实现MEMS器件系统级模拟的关键是建立其宏模型.由单层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型, 已做过深入的研究,但实际的MEMS器件通常都是多层的.本文提出了一种基于力-电压(F-V)类比的、适用于由多层梁构成的机电耦合系统的等效电路宏模型,该模型可进行小信号时域和频域分析, 能为多层梁机电耦合系统的设计带来很大的方便.模拟结果表明,该模型具有较高的精度.

关键词： 多层梁 等效电路 宏模型 机电耦合 耦合系统 微机电系统

作者: 戎华 黄庆安 李伟华

作者单位: 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 44-47

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）