微胶体推进器起始工作电压的估计方法研究

摘要：

提供了一种考虑到微制造工艺实际的对微胶体推进器的起始电压进行估计的方法.本方法的关键在于把基于深度干法腐蚀的微推进器的两极简化成一组双曲等势面中的两个,利用拉麦方程得到微推进器两极间静电场分布的近似解.进而分析微胶体推进器源极顶端工质液滴的静电力和表面张力的平衡,得到微胶体推进器的起始工作电压.按照工作电压的估计方程,基于ICP腐蚀,设计了4种微胶体推进器.利用悬臂梁和电涡流微位移传感器对微推进器的测试结果表明,利用该方法对微胶体推进器起始电压进行的估计和实际测试结果有很好的一致性.

关键词： 工作电压 微胶体推进器 电压估计 微制造工艺 悬臂梁 微位移传感器

作者: 熊继军 周兆英 叶雄英 王晓浩

作者单位: 清华大学精仪系,北京,100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 445-448

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）