大流量压阻式流量传感器的研制

摘要：

根据流体力学差压原理,采用硅微机械加工手段设计制作了微挡板结构的压阻式流量传感器.测试结果表明,该传感器具有测量0.1～10L/min的气体流量的能力.

关键词： 流量传感器 微机械加工 压敏电阻 流体力学 差压原理 气体流量

作者: 王小保 钱劲 张大成

作者单位: 北京大学微电子学研究院,北京,100871 中国科学院力学所,北京,100871

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 449-451

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）