一种半岛型结构谐振梁压力传感器

摘要：

提出了一种新型结构压力传感器,器件由上下两硅片键合而成,上硅片制作半岛型结构氮化硅谐振梁,下硅片制作矩形压力膜.应用有限元软件对器件结构及灵敏度进行了计算机模拟分析,器件利用MEMS技术研制并采用电热激励压阻拾振方式进行了测试.实验及理论模拟分析结果证实新型结构可以大大提高压力传感器灵敏度.

关键词： 谐振梁 压力传感器 半岛结构 微电子机械系统 有限元模拟 灵敏度

作者: 陈德勇 崔大付 高晓童 范兆岩 王利

作者单位: 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 464-466

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）