SU-8微针执行器的研究

摘要：

设计和采用MEMS工艺技术制作了一种由电磁驱动的微量取样执行器.执行器的结构包括微针、通道、反应室、电极以及永磁微阵列等.通过外部磁场可以实现双向线性驱动.本文主要介绍了利用SU-8光刻胶材料,采用多级曝光实现3D结构的工艺技术,研制出了微针执行器的雏形器件.微针的尺寸为600μm×800μm×40μm,微针孔径截面为20μm×20μm,并给出了SEM分析的研究结果.

关键词： 微针执行器 微机电系统 电磁驱动 微量取样 取样执行器 光刻胶

作者: 秦宁 赵湛 陈绍凤 夏善红

作者单位: 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 474-476

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）