MEMS运动件的芯片外机械驱动方法

摘要：

研究MEMS微结构的片外机械式驱动问题,介绍了在MEMS硅芯片背面贴合一块宏观尺度PZT片的驱动思想即PZT产生机械运动,在硅固定件与微运动件之间产生动量耦合,从而驱动微运动件.重点探讨脉冲驱动、振动驱动两大类基本驱动方法及其特点,介绍国外代表性研究结果,并提出对该方法进一步研究的观点与设想.

关键词： 微机电系统 驱动器 微细加工 压电陶瓷 微结构 片外驱动

作者: 王皓 姚汉民 杜春雷 焦玉中

作者单位: 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川,成都,610209

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 477-480

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）