压阻式硅基传感器的温度补偿方法研究

摘要：

介绍了压阻式传感器的温度补偿原理及补偿方法,详细阐述了硅压阻式加速度传感器3028的补偿方法,给出了实验数据.该补偿方法使用元器件少,补偿简单,具有很强的实用性.

关键词： 温度补偿 压阻传感器 硅基传感器 加速度传感器

作者: 郭涛 石云波 张文栋

作者单位: 教育部仪器科学与动态测试重点实验室,华北工学院电子工程系,山西,太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 489-491

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）