一种用于MEMS检测的无耦合六维力传感器的研制

摘要：

提出了一种用于MEMS检测试验平台中力学量测量的无耦合六维力/力矩传感器的设计.对传感器的结构形式、测量原理作了介绍,进行了试验验证并给出了从8路输出电压到六维力/力矩的传递矩阵.该传感器通过采用巧妙的结构形式和特定的电阻应变片布片方案实现了六维力解耦,大大简化了后置信号处理电路的设计且在各轴都具有较好的测量分辨率.实验证明,该传感器具有无耦合、测量分辨率高、线性度好、标定简单、贴片方便、制造成本低的优点,满足了预计的设计要求.

关键词： 六维力传感器 传递矩阵 微机电系统 电路设计

作者: 贺德建 张鸿海 刘胜 汪学方 王志勇

作者单位: 华中科技大学微系统研究中心,湖北,武汉,430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国微米/纳米第六届学术年会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 503-505,511

在线出版日期: 2003-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）